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Gigaphoton Inc.

JP-Excimer-Laser-Spezialist seit 2000 — DUV-Lithography-Lichtquellen fuer Halbleiter-Manufacturing.

Aktiv 400 Yokokura Shinden, Oyama City, Tochigi 323-8558 Gegründet 2000 LG

Über das Unternehmen

Gigaphoton Inc. ist japanischer Hersteller von Excimer-Lasern und EUV-Lichtquellen fuer Halbleiter-Lithography, gegruendet 2000-08-01 als Joint Venture und seit 2010 vollstaendige Tochter der Komatsu Ltd. HQ in Oyama City (Tochigi Praefektur). 1.426 Mitarbeiter (Stand 2026-03-31), Kapital 5 Mrd Yen. Praesident Tatsuo Enami. Self-Positioning: "be the No. 1 lithography light source provider". Hauptkonkurrent von Cymer (ASML-Tochter). Excimer-Laser-Linie umfasst KrF (248 nm) und ArF (193 nm) DUV-Quellen fuer Halbleiter-Stepper/Scanner sowie LPP-EUV-Lichtquellen-Entwicklung.

ANWENDUNGEN
lithographymeasurement
TECHNOLOGIEN
excimer

Branchen-Story · Lifecycle

1 Meilenstein · 2000

2000
  1. 01.08.2000 Gründung

    Gigaphoton gegruendet (2000)

    Gigaphoton Inc. wurde am 1. August 2000 in Oyama (Tochigi) als Joint Venture gegruendet, spaeter vollstaendige Tochter der Komatsu Ltd. Spezialisierung auf Excimer-Laser-Lichtquellen fuer Halbleiter-Lithography (KrF 248 nm + ArF 193 nm) und LPP-EUV-Quellen.

    Quelle ↗
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